SINTEF Mikrosystemer og nanoteknologi

SINTEF Mikrosystemer og nanoteknologi har arbeidet med mikromaskinerte sensorer siden 1960-tallet. Dette har resultert i en rekke nye virksomheter, som AME (OSIO), SensoNor og PreSens. Avdelingen består i dag av ca. 40 personer og aktiviteten spenner fra lavvolum produksjon av sensorer til grunnleggende prosess- og komponentutvikling. Det fokuserer på både ”top-down” og ”bottom-up” nanoteknologi. ”Top-down” mikro- og nanostrukturering har de siste årene nye muligheter for diffraktive optiske element (DOE) og produksjon av mikromaskinerte ultrasoniske transducere (MUT). Denne uviklingen drives i nært samarbeid med universitetene og vil i fortsettelsen omfatte fotoniske krystaller NEMS. Innenfor ”bottom-up” filosofien benyttes kjemiske metoder for syntese av funksjonelle materialer i form av tynne filmer på forhånds-definerte mikrosystem. Slike system benyttes til å integrere aktuatorer (piezoelektriske,  magnetostriktive), samt til å fremstille biologiske sensorer.